• تلفن تماس :‌ ۰۲۱۴۲۱۶۷۰۰۰
    فکس :‌۴۲۱۶۷۰۰۱
  • تهران - خیابان ولی عصر(عج)، خیابان مقدس اردبیلی،
    بين خیابان الف و كيهان، كوچه شيرين، پ ١٠، طبقه چهارم
  • شنبه تا چهارشنبه
    ۸ الی ۱۷

سیستم های رسوب دهی شیمیایی از فاز بخار (CVD)

سیستم های رسوب دهی شیمیایی از فاز بخار (CVD)

سیستم های رسوب دهی شیمیایی از فاز بخار (CVD)

کوره تیوبی که یکی از شناخته­ شده ترین کوره­ های آزمایشگاهی است و با اندکی تفاوت، در صنایع مختلف به نام­ های ریتورتی و تونلی نیز شناخته می­شود، به دلیل شرایط کاری تمیز و قابلیت­های مختلف از پرکاربردترین کوره­ها در آزمایشگاه­ ها و صنایع به حساب می­ آیند. در این گروه کوره‌ها نمونه داخل تیوب قرار گرفته و با بستن دو سر تیوب به وسیله فلنج‌های مخصوص، امکان ایجاد خلأ، دمش گاز و کنترل اتمسفر فراهم می‌گردد. بعلاوه استفاده از تیوب به عنوان محفظه آزمایش که جدا کننده نمونه از محفظه حرارتی کوره (المان‌های حرارتی و نسوزها) است، باعث ایجاد محیطی تمیز با قابلیت کنترل اتمسفر، ایجاد خلأ، شستشو با گاز، دمش و جریان گاز خنثی و عاری از هر گونه واکنش‌های نامطلوب می‌گردد. با توجه به شرایط مذکور می‏توان از این سیستم ها در انواع واکنش ها (اکسیداسیون/ احیا) و انواع اتمسفر (اکسیدی/ احیایی/ ختثی و یا خلأ) استفاده نمود.

کوره‌های تیوبی آزمایشگاهی شرکت یاران به صورت سری ساخته می­شود و در موارد کمی بسته به سفارش مشتری تغییراتی در آن اعمال می­گردد. به صورت پیش فرض اتصالات دو سر لوله برای دمش گاز، ایجاد خلأ اولیه، اتصال سیستم پیش گرم گاز و شیلدهای نسوز کنترل کننده گرادیان دمایی در منطقه داغ در مجموعه همراه این سیستم ها در نظر گرفته شده است. با اضافه شدن کمی تجهیزات این کوره ها قابلیت تبدیل به کوره های تیوبی با توانایی انجام فرآیند CVD را نیز دارند.

این دسته از محصولات شرکت یاران که در فرایندهای مختلف نظیر پخت، ذوب، لایه نشانی، زینترینگ، تکلیس و تشویه مواد و … مورد استفاده قرار می گیرند، بر اساس سفارش تا دمای اسمی ۱۸۰۰ درجه سانتیگراد (۳۲۷۰ درجه فارنهایت) و همچنین بر اساس نیاز و کاربرد به شکلهای افقی، عمودی، ثابت، دوار و دارای یک یا چند منطقه گرم مجزا تولید می گردند. ابعاد تیوب مورد استفاده (قطر و طول) بر اساس سفارش اخذ شده می‌باشد. انتخاب­هایی مانند قابلیت اتصال به کامپیوتر، کوره­های بازشونده از بالا، قابلیت کنترل اتمسفر، چرخش محفظه و استفاده به صورت عمودی و … طراحی­های این شرکت را متمایز کرده است. شرکت یاران سیتسم های CVD خود را در چهار گروه GM, HV, MV, AC ارائه نموده است که مشخصات فنی هر یک در جداول تب مشخصات فنی ذکر شده است.

 

: ( Chemical Vapor Deposition Gas Mixer(GM

مدل دستگاه
YCVD 30*X GM
نوع دستگاه
مقاومتی - تیوبی – افقی – با قابلیت کنترل اتمسفر
نوع اتمسفر
هوا و گازهای احیایی/ اکسیدی/ خنثی
دمای اسمی
1250⁰C تا
1800⁰C
دمای کاری
1150⁰C تا
1700⁰C
ابعاد تیوب قابل نصب
طول : 100 سانتیمتر / قطر : 8 و 12 سانتیمتر
جنس تیوب نصب شده
کوارتز (برای کوره های دمای 1250 درجه سانتیگراد)
آلومینا Al2O3 گرید 1900 درجه سانتی­گراد (برای کوره های دمای 1450،  1600، 1700 و 1800 درجه سانتیگراد )
نحوه آب بندی تیوب
فلنج­های آلومینیومی مخصوص به همراه اورینگ­های دما بالا
طول منطقه گرم
30 سانتیمتر
نحوه کنترل کوره
کنترل دمایی به صورت PID
قابلیت برنامه ریزی
حداقل 10 مرحله برنامه
نوع المان حرارتی
FeCrAl محصول شرکت Kanthal سوئد (Kanthal-A1) (برای کوره های 1250 درجه سانتیگراد)
SiC سیلیکون کارباید (برای کوره 1450 درجه سانتیگراد)
MoSi2  مولیبدنیوم دی‏ سیلیساید گرید 1700، 1800و 1900  درجه سانتی­گراد (برای کوره های 1600، 1700 و 1800 درجه سانتیگراد)
نوع ترموکوپل
Type K (برای کوره 1250 درجه سانتیگراد )
Type R (برای کوره های140، 1600و 1700 درجه سانتیگراد)
Type B (برای کوره 1800 درجه سانتیگراد)
نوع بدنه
دوجداره- فولادی با رنگ کوره ­ای
عایق حرارتی
بردهای سرامیکی عایق و نسوز گرید1900، 1800، 1600، 1450 و 1260 درجه سانتی­گراد
نحوه خنک کاری بدنه
دمش هوا به وسیله فن
تجهیزات کنترل اتمسفر
3 دستگاه روتامتر
میکسر گاز
شیرها و اتصالات انتقال گاز از میکسرگاز تا محفظه سیستم
سایر انتخاب ها
سیستم های دوار، عمودي، بازشونده، چند زونه
تجهیزات جانبی
(قابل انتخاب و سفارش)
شیرهای سوزنی جهت تنظیم میزان فشار داخل محفظه
 ترموکوپل اکسترنال جهت کالیبراسیون ترموکوپل اصلی
 کنترلر قابل اتصال به کامپيوتر
 تيوب های فلزي، کوارتز، آلومينا همراه با فلنج های آببندی مخصوص
مشخصات میکسر گاز
ورودی : سه ورودی جهت سه گاز متفاوت
خروجی : یک خروجی از محفظه اختلاط به سمت ورودی محفظه کوره
سیستم نمایش دبی گاز: سه دستگاه روتامتر شیشه ای
نحوه کنترل دبی گازها : شیرهای سوزنی دستی
 

: ( Chemical Vapor Deposition Atmospheric Control (AC

مدل دستگاه
YCVD 30*X AC
نوع دستگاه
مقاومتی - تیوبی - افقی
نوع اتمسفر
هوا - اکسیدی
دمای اسمی
1250⁰C تا
1800⁰C
دمای کاری
1150⁰C تا
1700⁰C
ابعاد تیوب قابل نصب
طول : 100 سانتیمتر / قطر : 8و 12 سانتیمتر
جنس تیوب نصب شده
کوارتز (برای کوره دمای 1250 درجه سانتیگراد)
آلومینا Al2O3 گرید 1600 درجه سانتی­گراد (برای کوره دمای 1450 درجه سانتیگراد)
آلومینا Al2O3 گرید 1900 درجه سانتی­گراد (برای کوره دمای 1600، 1700 و 1800 درجه سانتیگراد)
نحوه آب بندی تیوب
فلنج­های آلومینیومی مخصوص به همراه اورینگ­های دما بالا
طول منطقه گرم
30 سانتیمتر
نحوه کنترل کوره
کنترل دمایی به صورت PID
قابلیت برنامه ریزی
حداقل 10 مرحله برنامه
نوع المان حرارتی
FeCrAl محصول شرکت Kanthal سوئد (Kanthal-A1) (برای کوره دمای 1250 درجه سانتیگراد)
SiC سیلیکون کارباید (برای کوره دمای 1450 درجه سانتیگراد)
MoSi2  مولیبدنیوم دی سیلیساید گرید  1700، 1800و 1900  درجه سانتی­گراد(برای کوره های دمای 1600، 1700 و 1800 درجه سانتیگراد)
 
نوع ترموکوپل
Type K (برای کوره دمای 1250 درجه سانتیگراد)
Type R (برای کوره دمای 1450، 1600 و 1700 درجه سانتیگراد)
Type B (برای کوره های دمای 1800 درجه سانتیگراد)
نوع بدنه
دوجداره- فولادی با رنگ کوره­ ای
عایق حرارتی
بردهای سرامیکی عایق و نسوز گرید1900، 1800، 1700، 1600، 1450 و 1260 درجه سانتی­گراد
نحوه خنک کاری بدنه
دمش هوا به وسیله فن
سایر انتخاب ها
سیستم های دوار، عمودي، بازشونده، چند زونه
تجهیزات جانبی
(قابل انتخاب و سفارش)
شیرهای سوزنی جهت تنظیم میزان فشار داخل محفظه
 ترموکوپل اکسترنال جهت کالیبراسیون ترموکوپل اصلی
 کنترلر قابل اتصال به کامپيوتر
 تيوب های فلزي، کوارتز، آلومينا همراه با فلنج های آببندی مخصوص
 

: ( Chemical Vapor Deposition Medium Vacuum (MV

 
مدل دستگاه
YCVD 30*X MV
نوع دستگاه
مقاومتی - تیوبی – افقی – با قابلیت کنترل اتمسفر و خلأ
نوع اتمسفر
خلأ، هوا و گازهای احیایی/ اکسیدی/ خنثی
دمای اسمی
1250 درجه سانتیگراد تا 1800 درجه سانتیگراد
دمای کاری
1150 درجه سانتیگراد تا 1700 درجه سانتیگراد
ابعاد تیوب قابل نصب
طول : 100 سانتیمتر / قطر : 8 و 12 سانتیمتر
جنس تیوب نصب شده
کوارتز (برای دمای 1250 درجه سانتیگراد)
آلومینا Al2O3 گرید 1900 درجه سانتی­گراد (برای کوره های با دمای  1450و 1600و 1700و 1800 درجه سانتیگراد)
نحوه آب بندی تیوب
فلنج­های آلومینیومی مخصوص به همراه اورینگ­های دما بالا
طول منطقه گرم
30 سانتیمتر
نحوه کنترل کوره
کنترل دمایی به صورت PID
قابلیت برنامه ریزی
حداقل 10 مرحله برنامه
نوع المان حرارتی
FeCrAl محصول شرکت Kanthal سوئد (Kanthal-A1) (برای دمای 1250 درجه سانتیگراد)
SiC سیلیکون کارباید (برای 1450 درجه سانتیگراد)
MoSi2  مولیبدنیوم دی سیلیساید گرید  1700و 1800 درجه سانتی­گراد (برای دمای 1600و 1700 درجه سانتیگراد)
نوع ترموکوپل
Type K (برای دمای 1250 درجه سانتیگراد)
Type R (برای دمای 1450و 1600و 1700 درجه سانتیگراد)
Type B (برای دمای 1800 درجه سانتیگراد)
نوع بدنه
دوجداره- فولادی با رنگ کوره ­ای
عایق حرارتی
بوردهای سرامیکی عایق و نسوز گرید1900و 1800و 1700و 1600و 1450 و 1260 درجه سانتی­گراد
نحوه خنک کاری بدنه
دمش هوا به وسیله فن
نوع خلأ
خلأ متوسط
سیستم تأمین خلأ
پمپ روتاری روغنی دو مرحله ­ای
ماکزیمم سطح خلأ
(در حالت سرد، خالی و تمیز)
3-10x5 میلی بار
تجهیزات کنترل اتمسفر
1 دستگاه پمپ روتاری روغنی دو مرحله­ای
1 مجموعه اتصالات استاندارد خلأ، از پمپ تا محفظه
3 دستگاه روتامتر
میکسر گاز
شیرها و اتصالات انتقال گاز از میکسرگاز تا محفظه سیستم
سایر انتخاب ها
سیستم های دوار، عمودي، بازشونده، چند زونه
تجهیزات جانبی
(قابل انتخاب و سفارش)
سنسور خلأ پیرانی به همراه نمایشگر
فلومترهای دقیق حرارتی / فلوکنترلرهای دقیق حرارتی
شیرهای سوزنی جهت تنظیم میزان فشار داخل محفظه
 ترموکوپل اکسترنال جهت کالیبراسیون ترموکوپل اصلی
 کنترلر قابل اتصال به کامپيوتر
سیستم کنترل از نوع PLC
 تيوب های فلزي، کوارتز، آلومينا همراه با فلنج های آببندی مخصوص
کلد ترپ (تله بخارات و گرد و غبار جهت جلوگیری از ورود به پمپ خلأ)
 

: (Chemical Vapor Deposition High Vacuum (HV

مدل دستگاه
YCVD  30*X  HV
نوع دستگاه
مقاومتی - تیوبی – افقی – با قابلیت کنترل اتمسفر و خلأ
نوع اتمسفر
خلأ، هوا و گازهای احیایی/ اکسیدی/ خنثی
دمای اسمی
1250درجه سانتیگراد تا 1800 درجه سانتیگراد
دمای کاری
1150 درجه سانتیگراد تا 1700 درجه سانتیگراد
ابعاد تیوب قابل نصب
طول : 100 سانتیمتر / قطر : 8 و 12 سانتیمتر
جنس تیوب نصب شده
کوارتز (برای کوره 1250 درجه سانتیگراد )
آلومینا Al2O3 گرید 1600 درجه سانتی­گراد (برای کوره 1450و 1600 درجه سانتیگراد)
آلومینا Al2O3 گرید 1900 درجه سانتی­گراد( برای کوره 1700و1800  درجه سانتیگراد)
نحوه آب بندی تیوب
فلنج­های آلومینیومی مخصوص به همراه اورینگ­های دما بالا
طول منطقه گرم
30 سانتیمتر
نحوه کنترل کوره
کنترل دمایی به صورت PID
قابلیت برنامه ریزی
حداقل 10 مرحله برنامه
نوع المان حرارتی
FeCrAl محصول شرکت Kanthal سوئد (Kanthal-A1)( برای کوره 1250 درجه سانتیگراد)
SiC سیلیکون کارباید ( برای کوره 1450 درجه سانتیگراد)
MoSi2  مولیبدنیوم دی سیلیساید گرید 1700و 1800و 1900 درجه سانتی­گراد (برای کوره های 1600و 1700و 1800 درجه سانتیگراد)
نوع ترموکوپل
Type K (برای کوره 1250 درجه سانتیگراد)
Type R( برای کوره های 1450و 1600 و 1700 درجه سانتیگراد)
Type B (برای کوره های 1800 درجه سانتیگراد)
نوع بدنه
دوجداره- فولادی با رنگ کوره­ ای
عایق حرارتی
بردهای سرامیکی عایق و نسوز گرید1900و 1800و 1700و 1600و 1450 و 1260 درجه سانتی­گراد
نحوه خنک کاری بدنه
دمش هوا به وسیله فن
نوع خلأ
خلأ بالا
سیستم تأمین خلأ
پمپ روتاری روغنی دو مرحله­ای به عنوان خلأ اولیه و پشتیبان
پمپ توربومولکولار / دیفیوژنی به عنوان خلأ ثانویه
ماکزیمم سطح خلأ
(در حالت سرد، خالی و تمیز)
6-10x5 میلی بار
تجهیزات کنترل اتمسفر
1 دستگاه پمپ روتاری روغنی دو مرحله­ای
1 دستگاه پمپ توربومولکولار / دیفیوژنی
1 مجموعه اتصالات استاندارد خلأ، از پمپ­ها تا محفظه
3 دستگاه روتامتر
میکسر گاز
شیرها و اتصالات انتقال گاز از میکسرگاز تا محفظه سیستم
سایر انتخاب ها
سیستم های دوار، عمودي، بازشونده، چند زونه
تجهیزات جانبی
(قابل انتخاب و سفارش)
سنسور خلأ پیرانی / کاتد سرد / واید رنج به همراه نمایشگر
فلومترهای دقیق حرارتی / فلوکنترلرهای دقیق حرارتی
شیرهای سوزنی جهت تنظیم میزان فشار داخل محفظه
 ترموکوپل اکسترنال جهت کالیبراسیون ترموکوپل اصلی
 کنترلر قابل اتصال به کامپيوتر
سیستم کنترل از نوع PLC
 تيوب های فلزي، کوارتز، آلومينا همراه با فلنج های آببندی مخصوص
کلد ترپ (تله بخارات و گرد و غبار جهت جلوگیری از ورود به پمپ خلأ)
 
ذوب، آلیاژ سازی، گاز زدایی، عملیات حرارتی، پخت، کلسیناسیون، تشویه، احیاء، تجزیه حرارتی، زینترینگ، چسب زدایی، بریزینگ، لایه نشانی، رشد کریستال، رشد جهت دار از جمله کاربردهای این محصول می باشد.
این کوره­ها که تا دمای 2200 درجه ساخته می­شوند در کشور بی همتا هستند و از دقت دمایی بسیار بالایی برخوردارند. بعلاوه اتمسفر و محیط آزمایش در این تجهیزات کاملا قابل کنترل بوده و در فرایندهای مختلف نظیر پخت، ذوب، لایه نشانی، زینترینگ، تکلیس و تشویه مواد و ... مورد استفاده قرار می گیرد. بعلاوه انتخاب­هایی مانند قابلیت اتصال به کامپیوتر، کوره­های بازشونده از بالا، قابلیت کنترل اتمسفر، چرخش محفظه و استفاده به صورت عمودی و ... طراحی­های این شرکت را متمایز کرده است. اتصالات استاندارد دو سر تیوب که طراحی آن کاملا کار متخصصین شرکت یاران بوده است، باعث شده این سیستم­ها قابلیت اتصال به هر پمپ خلأ و یا ورودی­های گاز جهت کنترل اتمسفر را داشته باشند.